干渉縞解析装置

IFM

東明技研株式会社

干渉縞を高精度な解析で数値化

レーザー干渉計で観察される干渉縞画像から、研磨面の面精度や光学素子の透過波面精度を数値化・可視化することで、より高精度に、より分かりやすく、品質管理の向上に有益な商品です。
新たに開発したIFMは、最新のOSに対応し、新規アルゴリズムの導入により測定精度が向上し、様々なニーズに対応する解析機能を有します。操作は簡単で、どなたでもお使いいただける干渉縞解析装置です。
ご所有の干渉計にIFMを搭載する、レトロフィット(旧型を改良)にも対応いたします。

数十社のユーザーのご意見、ご要望を基に新たな干渉縞解析装置を開発し、刷新しました。
・アイコンによる操作で、初心者でも容易に測定作業が可能
・画像処理技術の導入による位相つなぎ精度の向上
・様々な解析機能の追加
→ ゼルニケ係数:Fringe Zernike及びStandard Zernike係数の両方で解析可能
→ カルテシアン係数:直交座標系での解析、及び収差リムーブが可能
→ ユーザー定義関数での解析:Zernike, PV, Coma, Powerなどの演算機能
→ 位相データ演算機能:平均化処理、2球面法、3平面法など様々な解析が可能
→ 異常画像(ゴミ、キズ)自動除去機能
・PV値、RMS値、ザイデル収差(球面/コマ/アス)、3D(鳥瞰図)、2D(等高線図)、 断面解析はもちろんのこと、 IRR(Irregularity)、RSI(Rotationally Symmetric Irregularity)のISO10110-5に準拠する解析も可能

【構成項目】
IFM干渉縞解析ソフト、位相シフター(ピエゾドライブ方式)、制御ドライバー(位相シフター駆動・画像データA/D変換他)パソコン、パソコンラック
【解析項目】
PV値、RMS値、鳥瞰図、等高線図、断面図、ザイデル収差
ISO準拠:IRR(アスクセ)、RSI(クセ)
ゼルニケ係数:フリンジゼルニケ(36項)、スタンダードゼルニケ(45項)
ユーザー定義関数、周波数解析他
【解析画素 標準】640 × 480pixel (特注:3Mピクセル)
【諧調】 10bit
【電源】 AC100V 50/60Hz  2A

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