大口径の平面ガラス、金属、ミラー、ウェハーなどの面精度の測定評価に最適です。
6インチ レーザー干渉計
AK-150ZF平面システム
東明技研株式会社
ガラス、プラスチック、金属などの平面形状測定に最適
小口径から大口径の研磨面をλ/20の高精度で測定評価が可能です。
| 光源 | He-Neレーザー |
| 波長 | 632.8nm |
| 形式 | フィゾー型干渉計方式 |
| 有効光束径 | φ150㎜ |
| 測定ストローク | 被検物によりご相談 |
| 基準面精度 | λ/20 |
| 倍率 | ×1～×6手動光学ズーム |
| 寸法 | 604㎜× 316㎜× 316㎜ |
| 設置容積 (防振台含む） |
W 1500㎜xD 800㎜xH 1800㎜ |
| 質量 | 約42㎏(本体のみ) |
| 電源 | AC110V/240V 50/60Hz 50W |
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4インチ レーザー干渉計
AK-100ZFニュートンチェッカーシステム
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商品コード: n/a -
4インチ レーザー干渉計
AK-100ZF平面/球面システム
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商品コード: n/a -
1.5インチ レーザー干渉計
AK-40ZF平面/球面システム
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商品コード: n/a
