大口径の平面ガラス、金属、ミラー、ウェハーなどの面精度の測定評価に最適です。
用于平面玻璃、镜子和晶片的平面精度测量系统。
6インチ レーザー干渉計 6英寸 激光干涉仪
AK-150ZF平面システム AK-150ZF/平面系统
東明技研株式会社
ガラス、プラスチック、金属などの平面形状測定に最適
小口径から大口径の研磨面をλ/20の高精度で測定評価が可能です。
研磨面以及小口径至大口径的镜头球面进行λ/20的高精度测量评价。
| 光源 | He-Ne激光 |
| 波长 | 632.8nm |
| 形式 类型 | フィゾー型干渉計方式 斐索干涉仪 |
| 有効光束径 有効通量直径 | φ150㎜ |
| 測定ストローク | 被検物によりご相談 |
| 基準面精度 标准平面精度 | λ/20 |
| 倍率 | ×1～×6手動光学ズーム 手动变焦 |
| 尺寸 | 604㎜× 316㎜× 316㎜ |
| 設置容積 (防振台含む）（包括震动隔离） |
W 1500㎜xD 800㎜xH 1800㎜ |
| 重量 | 约42㎏(本体のみ) |
| 电源 | AC110V/240V 50/60Hz 50W |
クリックするとPDFファイルが開きます。
-
4インチ レーザー干渉計 4英寸 激光干涉仪
AK-100ZFニュートンチェッカーシステム AK-100ZF/牛顿检查器系统
4インチ レーザー干渉計 4英寸 激光干涉仪AK-100ZFニュートンチェッカーシステム AK-100ZF/牛顿检查器系统
SKU: n/a -
4インチ レーザー干渉計 4英寸 激光干涉仪
AK-100ZF平面/球面システム AK-100ZF 球面/平面系统
4インチ レーザー干渉計 4英寸 激光干涉仪AK-100ZF平面/球面システム AK-100ZF 球面/平面系统
SKU: n/a -
1.5インチ レーザー干渉計 1.5英寸 激光干涉仪
AK-40ZF平面/球面システム AK-40ZF 平面/球面系统
1.5インチ レーザー干渉計 1.5英寸 激光干涉仪AK-40ZF平面/球面システム AK-40ZF 平面/球面系统
SKU: n/a -
レーザー干渉計用参照レンズ 用于激光干涉测量的标准透镜（参考透镜）
干渉計マウント用参照レンズ（Zygo、Apre、富士フイルム、東明技研ほか）
レーザー干渉計用参照レンズ 用于激光干涉测量的标准透镜（参考透镜）干渉計マウント用参照レンズ（Zygo、Apre、富士フイルム、東明技研ほか）
SKU: n/a