- 波面収差をリアルタイムに計測・可視化できます。
- 機種・モデルの選択により、200～1700 nmの幅広い波長域に対応します。
- 干渉計による計測データと高い相関です。
- 研究開発・性能評価から、生産工程での調整・検査まで対応します。
- 干渉計では計測が難しい大きな収差にも対応します。
- 振動や温度変化の影響を受けにくく、生産工程でも安定した計測が可能です。
- 光学系、自動ステージ、SDKを含むシステム構築に対応します。
シャックハルトマン方式 高速波面センサ PWS-500／PWS-1000
パルステック工業株式会社
DUVからSWIRまで、波面収差をリアルタイムに可視
DUVからSWIRまで、機種・モデルの選択により200～1700 nmの幅広い波長域に対応します。
シャックハルトマン方式により、光源や光学部品の波面収差をリアルタイムに計測・可視化します。
研究開発から生産工程での調整・検査まで幅広く活用できる高速波面センサです。
