ユニークなマイクロセル発砲エラストマー構造のLPシリーズ ポリウレタンポリッシングパッドは、
超精密表面仕上げが必要とされる研磨プロセスに対応するために設計されています。
精密光学部品、精密板ガラス、シリコンウェーハや、厳しい精度が要求される特殊な形状のアプリケーションにもご使用いただけます。
メリット
①長寿命:他の殆どのパッド材料より長いライフサイクルを実現します。
②安定したバッチ間の研磨平坦性と仕上がりを実現します。
・・・LPシリーズのベースとなるのは、発泡ポリウレタン構造です。
高剛性かつ多孔質の硬質弾性体であり、優れた平坦性と高い研磨レートを実現します。
LPシリーズは研磨材を含有していないものと酸化セリウム、酸化ジルコニウムを含有したものがございます。