ストロークが長く、基準レンズのラインナップが豊富なため、広範囲の口径/曲率のレンズ、平面ガラス、ウェハ、ミラーの面精度評価が可能です。
长冲程和广泛的参考透镜使得对具有广泛孔径/曲率的透镜、平板玻璃、硅片和镜子的表面精度评估成为可能。
4インチ レーザー干渉計 4英寸 激光干涉仪
AK-100ZF平面/球面システム AK-100ZF 球面/平面系统
東明技研株式会社
ガラス、プラスチック、金属などの平面/球面形状測定に最適
小口径から大口径の研磨面をλ/20の高精度で測定評価が可能です。
研磨面以及小口径至大口径的镜头球面进行λ/20的高精度测量评价。
光源：He-Ne激光
波长：632.8nm
形式：フィゾー型干渉計方式 斐索干涉仪
有効光束径 有效通量直径：φ100㎜
測定ストローク 测量距离：標準 标准600㎜ 特注 特订800㎜ ※ 球面システムの場合 对于球面系统
基準面精度 标准面精度：λ/20
倍率：×1～×6手動光学ズーム 手动变焦
尺寸：约338㎜×190㎜×254㎜
設置容積(防振台含む） 安装量（包括隔振器）：W1000㎜×D900㎜×H1200㎜ ※球面システムの場合 对于球面系统
質量：约14㎏(本体のみ)
电源：AC110V/240V 50/60Hz 50W
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4インチ レーザー干渉計 4英寸 激光干涉仪
AK-100ZFニュートンチェッカーシステム AK-100ZF/牛顿检查器系统
4インチ レーザー干渉計 4英寸 激光干涉仪AK-100ZFニュートンチェッカーシステム AK-100ZF/牛顿检查器系统
SKU: n/a -
6インチ レーザー干渉計 6英寸 激光干涉仪
AK-150ZF平面システム AK-150ZF/平面系统
6インチ レーザー干渉計 6英寸 激光干涉仪AK-150ZF平面システム AK-150ZF/平面系统
SKU: n/a -
1.5インチ レーザー干渉計 1.5英寸 激光干涉仪
AK-40ZF平面/球面システム AK-40ZF 平面/球面系统
1.5インチ レーザー干渉計 1.5英寸 激光干涉仪AK-40ZF平面/球面システム AK-40ZF 平面/球面系统
SKU: n/a -
レーザー干渉計用参照レンズ 用于激光干涉测量的标准透镜（参考透镜）
干渉計マウント用参照レンズ（Zygo、Apre、富士フイルム、東明技研ほか）
レーザー干渉計用参照レンズ 用于激光干涉测量的标准透镜（参考透镜）干渉計マウント用参照レンズ（Zygo、Apre、富士フイルム、東明技研ほか）
SKU: n/a