φ60㎜高精度平面板の平面測定、透過波面測定が可能になります。
能够测量ø60毫米高精度平板的平面和透射波面。
面積が小さい被検体(φ5㎜~φ25㎜程度)でもビームコンプレッサとセットで使用することにより測定が可能です。
与梁式压缩机结合使用时,也可以测量较小的试样(ø5毫米至ø25毫米)。
光源:He-Neレーザー(クラス1レーザー製品)
波長:632.8nm
形式:フィゾー型干渉計方式
有効光束径:φ60㎜
測定感度:λ/2(約0.3μm/縞)
基準面精度:λ/20
倍率:×1
寸法:約300㎜×320㎜×590㎜
質量:約30㎏
電源:AC100V 50/60Hz 1A
中国向け規格 電源電圧:220V
安全規格:IEC61010-1 IEC60825-1
EMC/EMI:IEC61000-3-2 IEC61000-3-3