ストロークが長く、基準レンズのラインナップが豊富なため、広範囲の口径/曲率のレンズ、平面ガラス、ウェハ、ミラーの面精度評価が可能です。
4インチ レーザー干渉計
AK-100ZF平面/球面システム
東明技研株式会社
ガラス、プラスチック、金属などの平面/球面形状測定に最適
小口径から大口径の研磨面をλ/20の高精度で測定評価が可能です。
光源：He-Neレーザー
波長：632.8nm
形式：フィゾー型干渉計方式
有効光束径：φ100㎜
測定ストローク：標準600㎜ 特注800㎜ ※球面システムの場合
基準面精度：λ/20
倍率：×1～×6手動光学ズーム
寸法：約338㎜×190㎜×254㎜
設置容積(防振台含む）：W1000㎜×D900㎜×H1200㎜ ※球面システムの場合
質量：約14㎏(本体のみ)
電源：AC110V/240V 50/60Hz 50W
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準備中
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4インチ レーザー干渉計
AK-100ZFニュートンチェッカーシステム
4インチ レーザー干渉計AK-100ZFニュートンチェッカーシステム
商品コード: n/a -
6インチ レーザー干渉計
AK-150ZF平面システム
6インチ レーザー干渉計AK-150ZF平面システム
商品コード: n/a -
1.5インチ レーザー干渉計
AK-40ZF平面/球面システム
1.5インチ レーザー干渉計AK-40ZF平面/球面システム
商品コード: n/a
