φ102㎜/φ150㎜高精度平面板の平面測定、透過波面測定が可能になります。
8.6倍のズーム機能付きにより小口径被検体も測定が可能です。
能够测量φ102 mm/φ150 mm高精度平板的平面和透射波面。
8.6倍的变焦功能可以测量小直径的试样。
光源:He-Neレーザー(クラス1レーザー製品)
波長:632.8nm
形式:フィゾー型干渉計方式
有効光束径:φ102㎜/φ150㎜ ※ご購入時に選択
測定感度:λ/2(約0.3μm/縞)
基準面精度:λ/20
倍率:×1~×8.6ズーム
寸法:約305㎜×365㎜×765㎜
質量:約56㎏
電源:AC100V 50/60Hz 1A
中国向け規格 電源電圧:220V
安全規格:IEC61010-1 IEC60825-1
EMC/EMI:IEC61000-3-2 IEC61000-3-3